


聊大講壇:歐陽俊談“鈣鈦礦鐵電薄膜的集成及應用研究”
11月1日下午,齊魯工業大學化工學院教授歐陽俊受邀做客聊大講壇,作了題為“鈣鈦礦鐵電薄膜的集成及應用研究”的學術報告。報告會由材料科學與工程學院副院長李偉主持,材料科學與工程學院等相關教師、研究生及本科生參加了本次報告會。
歐陽俊從硅基工業微器件進行引入,介紹了在微電子和微機電系統中使用的鐵電薄膜的特點。鐵電薄膜由于熱處理溫度的限制(<500℃),多為隨機多晶結構,存在剩余極化Pr小、電學性能差等缺點,阻礙了相關元器件朝著小型化、高性能方向的進一步發展。因此,歐陽俊開發了通過緩沖層技術結合與半導體工藝高度兼容的中低溫磁控濺射方法,在室溫至500℃的溫度范圍內制備了一系列高取向、高性能鈣鈦礦鐵電氧化物薄膜,這些材料的基本特性填補了國內外相關材料制備溫度和相應功能特性的空白。特別值得一提的是,制備的鈦酸鋇基薄膜電容器(鐵電、超順電)、鐵酸鉍和PZT薄膜壓電懸臂梁等儲能和換能原型器件,材料各項指標優異,展現了從材料到器件應用的高度可行性。
整場學術報告精彩絕倫、內容殷實,使廣大師生對鈣鈦礦鐵電薄膜的研究發展與應用情況有了更加深刻的認識。報告結束后,歐陽俊針對教師提出的科研問題進行了詳細地解答。參會人員表示受益匪淺。
歐陽俊,齊魯工業大學化工學院教授,“新能源材料化學與功能器件”科研團隊負責人,2013年11月入選教育部新世紀優秀人才,2021年入選湖南省“芙蓉學者”講座教授。主持承擔包括國家基金和省重大基礎研究項目在內的科研課題30余項。在國際期刊上發表SCI論文130余篇,在國際會議上做大會和分會邀請報告近30余次,并多次組織國際會議或擔任國際會議分會主席。主編英文學術專著1本,獲專利授權12項含國際專利1項,獲中國硅酸鹽學會2018年度特種陶瓷學術獎、電子元器件關鍵材料與技術專委會青年才俊獎(2021)和優秀論文獎(2022)、中國硅酸鹽學會第六屆優秀博士論文提名獎(導師)等榮譽。
(審核 鄭永朝)
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